ツインタワーヒートレス乾燥剤エアドライヤー

1。効率的な乾燥性能
2塔構造により、1つの塔が水を吸収し、もう1つの塔が再生し、圧縮空気を連続的に乾燥させることができる連続的で安定した乾燥プロセスが保証されます。乾燥剤の吸着は、圧縮空気の露点を効果的に減らすことができ、一般に露点を-40程度Cまたはさらに低くすることができます。

 

2。省エネの利点
非加熱再生法は、乾燥剤を再生するために追加の加熱装置を必要としません。乾燥後に完成ガスの一部の圧力エネルギーを使用して、減圧膨張を通じて乾燥剤の再生を達成し、加熱に必要なエネルギー消費を節約し、動作コストを削減し、長期使用から経済的で効率的な乾燥ソリューションです。

 

3。高い信頼性
複雑な暖房装置がないため、加熱要素の故障による機器のダウンタイムのリスクが減少します。その単純な作業原理と構造により、機器の安定性が強化されます。2つの塔の交互作業の設計により、システムの断層許容度も向上します。1つのタワーで小さな断層が発生したとしても、他のタワーは作業を乾燥させ、生産プロセスへの影響を減らすことができます。

 

4。メンテナンスコストの低い
機器の構造は比較的単純であり、加熱要素の交換や温度制御システムのキャリブレーションなど、暖房装置に関連する複雑なメンテナンス作業はありません。乾燥剤の交換やタワーボディの洗浄などのメンテナンス操作は比較的簡単です。これにより、機器のメンテナンスコストと難易度が削減され、機器のダウンタイムが短縮され、生産効率の向上に役立ちます。

 

5。環境に優しい
熱フリーの再生により、エネルギー消費が減少し、エネルギー生産による炭素排出量が間接的に削減されます。同時に、この機器は、環境保護の要件を満たしており、持続可能な開発に焦点を当てた産業環境で利点がある通常の運用中に環境に有害な物質を生成せずです。

 

6。広範囲のアプリケーション
小規模な実験室ガスであろうと、大規模な工業生産における多数の圧縮空気乾燥ニーズであろうと、さまざまな流れや圧力を処理できる圧縮空気は、適切な選択によって満たすことができます。さまざまな産業用アプリケーションシナリオに適応するために、さまざまな摂取湿度と乾燥空気の露点要件に従って柔軟に構成できます。

 

 

モデル	容量		インストール	MM MM			重さ	空気	推奨	推奨
	m³/min	CFM	パワー（kw）	L	W	H	（kg）	繋がり	事前フィルターモデル	フィルター後のモデル
rsxw -20	2	71	0.2	779	549	1788	198	DN25	rsg-aa -0058 g/v2	rsg-ar -0058 g/v2
rsxw -30	3	106	0.2	839	549	1703	325	DN25	rsg-aa -0058 g/v2	rsg-ar -0058 g/v2
rsxw -60	6	212	0.2	1060	618	2020	510	DN40	rsg-aa -0145 g/v2	rsg-ar -0145 g/v2
rsxw -80	8	282	0.2	1060	618	2020	520	DN40	rsg-aa -0145 g/v2	rsg-ar -0145 g/v2
rsxw -100	10	353	0.2	1200	738	1824	585	DN50	rsg-aa -0220 g/v2	rsg-ar -0220 g/v2
rsxw -120	12	424	0.2	1200	738	1824	600	DN50	rsg-aa -0220 g/v2	rsg-ar -0220 g/v2
rsxw -150	15	530	0.2	1200	733	2028	680	DN50	rsg-aa -0330 g/v2	rsg-ar -0330 g/v2
rsxw -200	20	706	0.2	1500	914	1973	870	DN65	rsg-aa -0330 g/v2	rsg-ar -0330 g/v2
rsxw -250	25	883	0.2	1530	962	2056	975	DN65	rsg-aa -0430 g/v2	rsg-ar -0430 g/v2
rsxw -300	30	1059	0.2	1630	1199	2019	1150	DN80	rsg-aa -0620 g/v2	rsg-ar -0620 g/v2
rsxw -350	35	1236	0.2	1790	1207	2049	1275	DN80	rsg-aa -0620 g/v2	rsg-ar -0620 g/v2
rsxw -400	40	1412	0.2	1830	1232	2059	1350	DN80	rsg-aa -0620 g/v2	rsg-ar -0620 g/v2
rsxw -500	50	1766	0.2	2012	1293	2238	1600	DN100	rsg-aa -0830 f/v2	rsg-ar -0830 f/v2
rsxw -600	60	2119	0.2	2150	1321	2518	2100	DN100	rsg-aa -1000 f/v2	rsg-ar -1000 f/v2

 

 

定格条件	作業範囲	利用可能
作業圧力：0。7mpag / 100psig	マックス。作業圧力：1。0 mpag / 145psig	1。0 mpag / 145psigを超えるより高い圧力
インレット温度：38度 / 100℉	マックス。入口温度：50度 / 122℉	pdp -20 degree / -4}および-70 degree / -100}
周囲温度：38度 / 100℉	マックス。周囲温度：40度 / 104℉	容量が多い
pdp：-40 degree / -40}		ステイナススチール製の容器または配管
		GB、ASME、PEDなど。船

 

 

 

実際の容量（m³/min）=公称容量×ka×kb

 

作業圧力（KA）	mpag	0.5	0.6	0.7	0.8	0.9	1
	psig	73	87	100	116	131	145
	CFP	0.87	0.94	1	1.06	1.12	1.17

 

インレット温度（KB）	程度	35	38	40	42	45	50
	℉	95	100	104	108	113	122
	CFT	1.18	1	0.9	0.81	0.69	0.58

 

 

リソグラフィプロセス：リソグラフィは、チップ製造の重要なステップであり、非常に高い精度を必要とします。このプロセスでは、回路パターンは、高精度リソグラフィマシンを使用してシリコンウェーハに投影されます。小さな水蒸気粒子でさえ、光の伝播を妨げる可能性があり、その結果、パターンの精度が損なわれます。デュアルタワーの熱のない吸着吸着エアドライヤーは、非常に低い露点を備えた乾燥空気を提供し、乾燥した純粋なフォトリソグラフィ環境を確保し、チップ上の回路パターンを正確にエッチングして、より小さなプロセスとより高いパフォーマンスチップを作成するのに役立ちます。

 

エッチングプロセス：エッチングとは、チップの回路構造を形成するための化学的または物理的方法による不要な材料の除去です。エッチングプロセスでは、乾燥した空気環境が重要です。空気に水分が含まれている場合、エッチング剤と化学的に反応し、エッチングの選択性と精度に影響し、チップに損傷を与える可能性があります。乾燥機は、圧縮空気の水分を効果的に除去し、エッチングプロセスに安定した乾燥ガスを提供し、エッチングプロセスの精度とチップの品質を確保できます。

 

フィルム堆積プロセス：チップ製造では、物理的蒸気堆積（PVD）または化学蒸気堆積（CVD）法によるシリコンウェーハの表面に、金属フィルムや絶縁フィルムなどのさまざまなフィルムを堆積する必要があります。これらのフィルムの品質は、チップの電気性能と安定性に大きな影響を与えます。空気中に水分がある場合、それはフィルムの酸化や不純物の取り込みなどの問題につながる可能性があります。 Twin Tower Non-Heeat Regeneration AdsOrption Air Dryerが提供する乾燥した空気は、これらの問題を防ぎ、フィルムの高品質の堆積を保証します。

 

 

 

1.デュアルタワーの非加熱再生吸着エアドライヤーはどのように機能しますか？
デュアルタワー吸着吸着吸着空気乾燥機は2つの塔、1つは吸着乾燥のための塔、もう1つは再生のための塔です。吸着中、湿気が吸着塔に入り、吸着剤を介して水を吸収し、乾燥した空気が流れ出します。再生中、乾燥した空気の一部は大気圧に近づけ、再生塔に入り、吸着剤の水を引き出して大気に入れ、2つの塔が連続乾燥を実現するために作業を行います。

 

2。なぜこの乾燥機は加熱せずに吸着剤を再生するのですか？
圧力スイング吸着の原理を使用します。吸着剤は高圧で水を吸収し、水は低圧で脱着します。空気の乾燥部分の圧力を減らすことにより、水蒸気の部分的な圧力が低下し、吸着剤の水を取り除くことができ、再生が追加の加熱を必要とせずに達成されます。
 

3.乾燥機を取り付けるときに何に注意する必要がありますか？
デバイスを乾燥した換気の良い場所に取り付け、操作とメンテナンスのためにデバイスの周りに十分なスペースがあることを確認してください。同時に、摂取量、出口、排水管を正しく接続して、パイプの緊張を確保する必要があります。摂取塔の空気のオイル含有量は、0。01mg/m³の下に制御する必要があります。また、乾燥機の空気摂取量にオイルリムーバーを設置するのが最善です。

 

4.乾燥エアアウトレットデューポイントが高すぎる原因は何ですか？
定格容量を超える流れ、吸気圧または温度が定格値を超えること、吸着剤がサービスの障害または汚染を超える吸着剤によって引き起こされる可能性があります。定格値内の流量、圧力、温度を制御し、吸着剤を交換し、乾燥機の前にオイル除去フィルターを取り付けることで解決できます。

 

5.吸着剤の早期失敗の原因と解決策は何ですか？
その理由は、再生の空気体積圧力が不十分であるか、スロットルバルブ設定が間違っているため、再生塔の圧力が除去されないか、マフラー排気バルブがブロックされているか、チェックバルブが損傷している可能性があります。ソリューションには、再生バルブの調整、スロットルバルブの調整、ノイズリダースエキゾーストバルブのdr、チェックバルブの交換などが含まれます。